凈化廠房（潔凈區(qū)）監(jiān)測標準表（下篇）
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變更記錄 |
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版本號 |
生效日期 |
變更原因、依據(jù)及詳細變更內(nèi)容 |
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00 |
2014年1月1日 |
原始版本 |
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區(qū)域 內(nèi)容 |
10000級區(qū) |
100級 |
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溫濕度 |
標 準 |
溫度18－26℃，相對濕度45%－65% |
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測定頻次 |
2次／班（上、下午各一次） |
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壓差 |
標 準 |
不同潔凈級別≥5Pa、與外界相連≥10Pa，相同潔凈度級別不同功能房間壓差梯度不小于3Pa |
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測定頻次 |
2次／班（上、下午各一次） |
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懸浮 粒子 |
靜態(tài)標準 （個／m3） |
≥0.5um |
≥5um |
≥0.5um |
≥5um |
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≤350000 |
≤2000 |
≤3500 |
0 |
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測定頻次 |
1次/季度 |
1次/季度 |
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動態(tài)標準 （個／m3） |
≥0.5um |
≥5um |
≥0.5um |
≥5um |
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≤3520000 |
≤29000 |
≤3520 |
20 |
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測定頻次 |
1次/周 |
1次/周 |
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沉降菌 |
靜態(tài)標準 （CFU/皿） |
≤3 |
＜1 |
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測定頻次 |
1次／季度 |
1次／季度 |
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動態(tài)標準 （CFU/皿） |
≤50 |
平均應＜1 |
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測定頻次 |
1次／周 |
1次／班 |
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浮游菌 |
動態(tài)標準 （CFU/ m3） |
≤100 CFU/ m3 |
＜1 |
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測定頻次 |
1次／周 |
1次／周 |
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